nova beseda
iz Slovenije
DELO, leto 2000, poved v sobesedilu:
Vgrajena je v elektronski čip in lahko sestavlja mikrosenzor ali aktuator, lahko pa deluje tudi kot uklonski element v svetlobnih interferometrih ali tvori ogrodje za kontrolirano rast celične kulture v tkivo.
Ker je zahtevana natančnost pri izdelavi mikromehanskih komponent znatno manjša od valovne dolžine vidne svetlobe, litografija z vidno svetlobo ni primerna, saj bi uklon onemogočil zapis v fotoobčutljivo snov. Za izdelavo mikromehanskih struktur lahko uporabimo žarek sinhrotronske svetlobe iz rentgenskega dela spektra ali pa elektronski oziroma ionski žarek.
Nova poizvedba
Pripombe
Na vrh strani