nova beseda
iz Slovenije
DELO, leto 2010, poved v sobesedilu:
Pri elektronski litografiji snop iz elektronskega mikroskopa na površini oksidirane silicijeve ploščice povzroča kemijske spremembe v tanki plasti polimera, nanesenega na ploščico. Kemijsko spremenjeni polimer lahko tam, kjer ga je zadel elektronski snop, odtopijo ter na tem mestu silicijevo ploščico zaprašijo s plastjo kovine, ki se oprime ploščice in polimera. Po odstranitvi preostalega polimera in nanosa ostane na silicijevi ploščici le tanka kovinska plast na območjih, ki jih je zadel elektronski snop.
Nova poizvedba
Pripombe
Na vrh strani