nova beseda
iz Slovenije
DELO, leto 2000, poved v sobesedilu:
Maske običajno izdelajo z dobro fokusiranim elektronskim žarkom, ki v fotoobčutljivo snov vriše izbrano obliko. Strukture, dobljene z elektronskim žarkom, so tanke, saj je doseg elektronov v snovi le nekaj 10 nanometrov.
Za izdelavo mikromehanskih struktur se v zadnjih dveh letih uveljavlja tehnika mikroobdelave z visokoenergijskim ionskim mikrožarkom.
Nova poizvedba
Pripombe
Na vrh strani