nova beseda
iz Slovenije
DELO, leto 2000, poved v sobesedilu:
Ker je zahtevana natančnost pri izdelavi mikromehanskih komponent znatno manjša od valovne dolžine vidne svetlobe, litografija z vidno svetlobo ni primerna, saj bi uklon onemogočil zapis v fotoobčutljivo snov. Za izdelavo mikromehanskih struktur lahko uporabimo žarek sinhrotronske svetlobe iz rentgenskega dela spektra ali pa elektronski oziroma ionski žarek. Tehnika s sinhrotronsko svetlobo nosi naziv LIGA in zahteva precizno masko, ki prepusti svetlobo le na izbranih mestih.
Nova poizvedba
Pripombe
Na vrh strani