nova beseda
iz Slovenije
DELO, leto 2000, poved v sobesedilu:
Strukturo iz fotoobčutljive snovi, običajno so to plastični polimeri, v sklepni fazi postopka spremenimo v obstojnejšo (kovinsko) strukturo. Vgrajena je v elektronski čip in lahko sestavlja mikrosenzor ali aktuator, lahko pa deluje tudi kot uklonski element v svetlobnih interferometrih ali tvori ogrodje za kontrolirano rast celične kulture v tkivo.
Ker je zahtevana natančnost pri izdelavi mikromehanskih komponent znatno manjša od valovne dolžine vidne svetlobe, litografija z vidno svetlobo ni primerna, saj bi uklon onemogočil zapis v fotoobčutljivo snov.
Nova poizvedba
Pripombe
Na vrh strani